普通狀況下,爆炸事故在真空泵應(yīng)用中是很少見(jiàn)的,但是在某些狀況下仍應(yīng)留意該類狀況的發(fā)作, 如在(或接近)高化學(xué)計(jì)量濃度下運(yùn)用象硅烷(SiH4)這種自燃引火的氣體和運(yùn)用O2、H2混合氣體的狀況下。這些混合氣體對(duì)靠容積緊縮排氣和靠吸附貯存氣體的真空泵,例如關(guān)于容積式機(jī)械真空泵、分子篩吸附泵和低溫吸附泵來(lái)說(shuō),存在的風(fēng)險(xiǎn)性是非常明顯的。
   我們必需留意,在普通的油封式機(jī)械真空泵中,假如沒(méi)有采取維護(hù)措施或恰當(dāng)?shù)牟僮鞴に?運(yùn)用這些氣體的潛在風(fēng)險(xiǎn)性就會(huì)更大。發(fā)作事故的緣由很簡(jiǎn)單, 即泵腔的緊縮升溫,使風(fēng)險(xiǎn)氣體密度和溫度升高超越允許值,發(fā)作爆炸;或像SiH4一類氣體,假如在普通機(jī)械泵油中的溶解度足夠高,在泵的油箱中即能到達(dá)發(fā)作爆炸的濃度。假若在這種狀況下真空泵發(fā)作爆炸,使鑄造的泵體或油箱崩裂而飛出的碎片就會(huì)對(duì)操作人員形成嚴(yán)重的傷害。預(yù)防的辦法是在被抽氣體進(jìn)入機(jī)械真空泵前使氣體完整降溫,比方運(yùn)用一個(gè)簡(jiǎn)單的熱交流器即可。預(yù)防氫氣爆炸風(fēng)險(xiǎn)的措施是:在氫氣進(jìn)入緊縮抽氣系統(tǒng)前使其降溫,并將氫氣氣體的濃度(能夠采用摻入惰性氣體的辦法)減低到風(fēng)險(xiǎn)濃度以下。
   其次應(yīng)保證真空系統(tǒng)中的水冷卻系統(tǒng)正常工作(壓力、流量),而且不產(chǎn)生走漏。一切的冷卻回路必需能接受正常的工作水壓所產(chǎn)生的壓力(應(yīng)具有恰當(dāng)?shù)钠桨蚕禂?shù))。在真空系統(tǒng)的工作中,系統(tǒng)內(nèi)一切安裝的冷卻回路的冷卻劑入口和出口必需保證暢通而無(wú)阻塞現(xiàn)象,這個(gè)問(wèn)題應(yīng)該采用對(duì)冷卻劑流量(而不是對(duì)壓力) 停止監(jiān)控的聯(lián)鎖安裝來(lái)處理。
    系統(tǒng)中的一切玻璃部位,包括玻璃察看窗,必需維護(hù)其不受撞擊,假若玻璃破碎,工作人員不能遭到玻璃飛片的碰傷。關(guān)于可能發(fā)這種不測(cè)狀況的部位,普遍的做法是采用粗網(wǎng)格鐘罩式的防爆屏障。